* လိုင်းအကွာအဝေး: 25μm (လုပ်ဆောင်နေသောပစ္စည်းနှင့်သက်ဆိုင်သည်)
* လိုင်းအကျယ်: 20μm (လုပ်ဆောင်နေသောပစ္စည်းနှင့်သက်ဆိုင်သည်)
* ပျမ်းမျှလေဆာထွက်ရှိမှုပါဝါ: 20W
* ထပ်ခါတလဲလဲနေရာချထားမှုတိကျမှု: ≤±2μm
* စနစ်နေရာချထားမှုတိကျမှု: ≤±5μm
* လုပ်ဆောင်မှုအမြန်နှုန်း: 16cm²/မိနစ် (လုပ်ဆောင်နေသောပစ္စည်းနှင့်သက်ဆိုင်သည်)
* လုပ်ဆောင်နေသောဧရိယာ: 350mm×300mm
* လေအေးပေးထားသောဖိုက်ဘာလေဆာကိုအသုံးပြုပါ
* လေဆာလှိုင်းအလျား: 1070nm
* အလုပ်လုပ်ကြိမ်နှုန်း: 20-200kHz
* လေဆာအပူပေးချိန်: 10s
* X, Y ဝင်ရိုးမြင့်မားသောတိကျမှုရှိသော linear motor drive
* ဒစ်ဂျစ်တယ်စကင်ဖတ်ခြင်း galvanometer ကိုအသုံးပြုပါ
* telecentric မှန်ဘီလူးကိုအသုံးပြုပါ
* ရွေ့လျားမှုပလက်ဖောင်း resolution: 0.5µm
* Galvanometer resolution: 2µm
* granite စက်စားပွဲကိုအသုံးပြုပါ
* ဒေါင်လိုက်စက်အဖုံးတပ်ဆင်ထားသည်
* မှန်ဘီလူးကာကွယ်မှုလေကာပါရှိသည်
* စက်မှုလုပ်ငန်းသုံးဖုန်မှုန့်စုဆောင်းစနစ်တပ်ဆင်ထားသည်
* မြင့်မားသော resolution ကင်မရာနှင့် ပျံ့နှံ့သောရောင်ပြန်ဟပ်မှုအလင်းရင်းမြစ်တပ်ဆင်ထားသည်
* ကင်မရာပစ်မှတ်တည်နေရာလုပ်ဆောင်ချက်တပ်ဆင်ထားသည်
* စက်မှုလုပ်ငန်းသုံးထိန်းချုပ်မှုကွန်ပျူတာနှင့် မျက်နှာပြင်တပ်ဆင်ထားသည်
* ဖုန်စုပ်စက်စုပ်ယူမှုပလက်ဖောင်းတပ်ဆင်ထားသည်
* ပါဝါထောက်ပံ့မှု: 220VAC/50Hz
* host ပါဝါ: 2.2kW
* အရန်ပစ္စည်းပါဝါ: 1.5kW
